VA-3200 웨이퍼 이미지 검사 시스템

[특징]
• 프로브 호환성: VA-3200 이미지 검사 시스템은 엔지니어와 운영자가 익숙한 장치 환경에서 사용할 수 있도록 프로브 기계에 설치하도록 설계되었습니다.
• 운영 프로세스 단순화: 시스템 및 시제품 통합을 통해 기존 운영 인터페이스를 사용하여 이미지 매개 변수를 설정하여 새 시스템의 학습 곡선을 줄일 수 있습니다.
• 웨이퍼 파손 위험 방지: 픽업 및 배치를 위해 웨이퍼에 직접 접촉할 필요가 없으므로 웨이퍼 파손 위험을 효과적으로 방지합니다.
• 운영 편의성 향상: 바늘 테스트기에 익숙한 엔지니어와 운영자는 검사 프로세스의 효율성과 보안을 유지하기 위해 보다 쉽게 시작할 수 있습니다.

[제품 이점]
1. 고품질의 이미지 캡처
와이어 스캔 카메라: 와이어 스캔 카메라를 사용하여 짧은 시간 내에 전체 웨이퍼의 이미지를 완전히 캡처할 수 있는 큰 시야 (FOV) 와 빠른 스캔 능력을 제공합니다.
◦3배 렌즈: 고배율 렌즈와 함께 사용하면 고품질의 이미지를 생성하고 결함 특징의 식별률을 현저하게 높일 수 있다.
2. 고정밀 결함 검출
◦ 검측 정밀도 5μm: 고정밀 검측 능력을 가지고 있으며, 이물질 (입자), 스크래치 (스크래치), 용접판 이상, 볼록 블록 이상을 포함한 웨이퍼 표면의 미세한 결함을 정확하게 식별할 수 있다.