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티타늄 원 표적;

표적재의 주요 성능 요구 사항

 ;불순물 함량

 ;목표 고체 중의 불순물과 공극 중의 산소와 수증기는 퇴적막의 주요 오염원이다.서로 다른 목적에 사용되는 서로 다른 표적재는 서로 다른 불순물 함량에 대해 서로 다른 요구를 가지고 있다.예를 들어, 반도체 산업에서 사용되는 순수 알루미늄 및 알루미늄 합금 표적재는 알칼리 금속 함량과 방사성 원소 함량에 특별한 요구 사항이 있습니다.

순도

 ;순도는 표적재의 주요 성능 지표 중 하나인데, 표적재의 순도는 박막의 성능에 큰 영향을 미치기 때문이다.그러나 실천에서 표적재의 순도는 다르다.예를 들어, 마이크로 전자 산업의 급속한 발전에 따라 실리콘 칩 크기는 6인치, 8인치에서 12인치로, 배선 폭은 0.5마이크로미터에서 0.25마이크로미터, 0.18마이크로미터, 심지어 0.13마이크로미터로 줄어들었다. 과거에는 99.995% 의 목표 순도가 0.35UMIC의 기술 요구를 충족시킬 수 있었다. 0.18마이크로미터 선의 제조에는 999% 심지어 99.9999% 의 목표 재료 순도가 필요했다.

밀도

 ;표적재 고체 중 공극률을 낮추고 박막을 튀기는 재산을 개선하기 위해서는 표적재가 고밀도를 갖추어야 한다.표적밀도는 사출속도에 영향을 줄뿐만아니라 박막의 전기학과 광학재산에도 영향을 준다.표적 밀도가 높을수록 박막의 성능이 좋다.또한 표적의 밀도와 강도를 증가시켜 사출 과정에서 열 응력을 더 잘 견딜 수 있도록 한다.밀도도 표적재의 관건적인 성능지표의 하나이다.


99.99% 순도 티타늄 사출 표적재의 제품 설명


프로젝트 이름 티타늄 사출 표적
유형 금속 표적
순결 사용자 정의
사양 사용자 정의
색상 은색의
모양 평면, 원형
증명서 ISO9001:2008, SGS, 3차 검사 보고서
등급 공업급
용법 박막 코팅
적용 광학, 광자학, 나노소재, PDP, 터치패드 산업, 태양전지, 태양광태양광 응용, 장식장식 등 도료가공 산업의 과학연구와 공업생산 분야에 광범위하게 응용된다
순수 티타늄 표적재
우리는 사용자 정의 축척, 순도 및 형태를 받아들입니다.
비율: TiAl5 at%, TiAl10 at%, Ti Al20 at%, Si Al25 at%, Al 30 at%, Ta Al40 at%, Mo Al50 at%...
순도: 99.5%, 99.7%, 99.8%, 99.9%, 99.95%, 99.99%
형태: 원형, 평면, 튜브, 호형, 다중 타일...

불순물 함량

비율 Ti-75Al 함량% Ti-70Al 함량% Ti-67Al 함량% Ti-60Al 함량% Ti-50Al 함량% Ti-30Al 함량% 티타늄 - 20Alat% Ti-14Al 함량%
순도 (%) 99.7 99.7 99.7 99.7 99.8/99.9 99.9 99.9 99.9
밀도 (g/cm3) 3.1 3.2 3.3 3.4 3.63/3.85 3.97 4.25 4.3
세분성 (µm) 100/- - - -
생산 엉덩이 엉덩이 엉덩이 엉덩이 고관절/VAR 변수 변수 변수


티타늄 표적

제품 순도: 99.5%, 99.7%, 99.8%, 99.9%, 99.95%, 99.99%, 99.99%, 99.995%.

우리는 형태 크기를 제공합니다: 평면 표적, 원통형 표적, 호형 표적, 이형 표적 등등.

티타늄은 은백색의 과도금속으로 원자서수는 22이고 원자량은 47.867로 무게가 가볍고 강도가 높으며 금속광택과 내습염소부식의 특징을 갖고있다.알파티타늄은 육방정계이고 베타티타늄은 입방정계이다.변환 온도는 882.5 ° C입니다.융해점(1660±10)°C, 비등점 3287°C, 밀도 4.506g/cm3.희산에 녹고 찬물과 뜨거운 물에 녹지 않는다;내해수 부식성이 매우 강하다.티타늄은 20세기 50년대에 발전된 중요한 구조금속이다. 티타늄합금은 밀도가 낮고 강도가 높으며 부식성이 좋고 열전도 계수가 낮으며 독성이 없고 자기도 없고 용접이 가능하며 생물 상용성이 좋고 표면 장식성이 강한 특징을 가지고 항공, 우주, 화학공업, 석유, 전력, 의료, 건축,체육용품과 기타 분야.



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